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Nordson Sonoscan AW300超声扫描显微镜

服务地区:全国
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价格:面议

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详细介绍

品 牌:Nordson

产 地:美国

型 号:AW300

AWTM 系列产品是专门为晶圆检测设计全自动系统。适用于多种键合晶圆 (SOI、MEMS、LED、2.5D和3D)的检测分析, 具有极高的灵敏度和产能。AW系列能够检测出两晶片间直径小于5微米的空洞以及晶片间薄如200埃的脱层。AW具有两个或者多个扫描头,一个缓冲工作台,一个干燥室。它可以同时扫描两个晶圆,并且同时对完成扫描的晶圆进行干燥, 从而提高产能。


【主要特点】


·Quantitative Dynamic ZTM量化动态Z功能-对不平整的晶圆保持聚焦


·与SECS-II/GEM/SEMI300毫米标准兼容


·全自动检测100mm至300mm的晶圆


·瀑布式探头提供非浸泡扫描


·行业*的图像分析功能


·BOLTS标准接口适用于FOUPs, SMIF Pod, FOSB及开放式晶圆盒


·自供水和抽真空组件(选项)


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